电子设备与半导体冷却

精确的温度控制对电子设备与半导体制造至关重要。舒瑞普钎焊板式换热器结构紧凑、性能可靠,可满足这些要求苛刻的系统的精确温度控制和占用空间小的需要。

SWEP in electronics and semiconductor cooling solutions

电子设备制造专用冷水机

在电子工业中,专用冷水机对于电路板和其他电子电气组件的生产至关重要。

电路板制造

化学蚀刻铜板会产生热量,从而升高腐蚀池中液体的温度,进而影响电路板的质量。工业冷水机可以帮助保持腐蚀池的温度。

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清洁电路板和电子组件

在清洗池中清洗电子组件和电路板会导致清洗液温度上升。工业冷水机可以帮助保持清洗池的温度,防止蒸发,减少清洗液的用量。

半导体制造专用冷水机

半导体晶圆必须使用一种称为“干蚀刻”的工艺,以绝对精确的方式成形。在蚀刻过程中,晶圆由静电吸盘 (ESC) 牢牢固定,ESC相当于晶圆的固定平台。由于ESC与晶圆直接接触,因此晶圆上的任何温度波动都会严重影响腔室内的蚀刻速率,从而影响蚀刻特征的一致性。不一致的蚀刻速率反过来又会导致临界尺寸 (CD) 发生变化,最终影响半导体产品的质量。

精确温度控制

只有专为半导体工业设计的先进冷水机系统才能实现干蚀刻过程中所需的精确温度控制。

半导体专用冷水机可实现:
  • 快速升温 高性能半导体专用冷水机在实现快速温度转换、减少停机时间和提高运行效率方面表现出色。

  • 快速响应 敏捷冷水机系统可即时满足所需的温度变化,确保整个干蚀刻过程的一致性
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去离子水冷水机

半导体冷水机是一种自平衡循环装置,由换热器、循环泵、压缩机和控制系统组成。这些冷水机可采用单通道、双通道或三通道系统。在蒸发器中使用去离子水时,舒瑞普All-Stainless™全不锈钢产品是不二之选。

关于舒瑞普All-Stainless全不锈钢产品

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